行星減速機雖然隨著科技的發展，性能等各方面都有一個很大程度的提升，但是在使用的過程中如果出現操作不當，還是會出現一些故障的，行星齒輪傳動裝置的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關系。例如在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調質齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。

1、表面淬火

常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果好。表面淬火常用材料為碳的質量分數約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達45~55HRC。

2、滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來清理熱處理變形，以保證精度。

3、滲氮

采用滲氮可保證輪齒在變形小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行后的精加工，提高了承載能力。這對于不易磨齒的內齒輪來說，具有特殊意義。

4、想嚙合齒輪的硬度組合

當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。

選擇好的行星齒輪減速機材料，有利于提高齒輪減速機的承載力及使用壽命。